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半導体ヒーター
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SEMICONDUCTOR HEATERS
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| 無限の用途 |
| ・プラズマプロセス | ・化学計器、機器 |
| ・TEOs、Etch、CDV、Poly | ・高エネルギー物理 |
| ・排出ライン | ・チャンバー |
| ・真空ライン | ・バルブ |
| ・FPDプロセス | ・タンク |
| ・Cryo-Regeneration | ・ベッセル |
| ・消イオン水ライン | ・ポンプ |
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| 製品例 |
| ■標準型BHヒーティングジャケット |
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いろいろな用途に合うよう、ステンレススチール、パイプ径25A〜100A 長さ25mm〜1219mm、各パイプ径のフランジ、エルボがあります。
取り付け・外しが容易な上、モジュールで設計されているため、多くのお客様のシステム構成に対応できます。
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| ■BHカスタム型ヒーティングジャケット |
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いろいろな条件に応じて設計、製作するカスタムメイド品です。
上掲写真、左からベローズ・ストレート、ベント型、バルブ機器類など。 |
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